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对粒度为3000的树脂结合剂杯形金刚石砂轮的表面形貌进行测量,在测量前用此砂轮进行了磨削试验,以保证所测量的砂轮处于稳定的磨削状态。砂轮参数和磨削条件分别为测量时选用50倍的物镜,图像缩放设置为2倍,系统总放大率为2000倍,视场面积为Q.070 mmx0.053 mm,横向取样间隔为0.11um。

测得的砂轮表面的二维形貌图,金刚石砂轮表面粗糙度和微粗糙度分别为l.064和1.45un,在测量范围内的最大波峰、波谷之差为13.82um;砂轮表面存在许多气孔,气孔直径可达十几微米,分布不均匀。在相同条件下测量并且经过拼接得到的砂轮表面的三维形貌图,取样面积为4.1978mmx0.1962mm、由1792x1776个数据点组成。